1738 की शुरुआत में, स्विस वैज्ञानिक डैनियल बर्नौली ने जल प्रवाह को मापने के लिए पहले बर्नौली समीकरण के आधार पर विभेदक दबाव विधि का उपयोग किया था। बाद में, इतालवी जीबी वेंचुरी ने प्रवाह माप के लिए वेंचुरी ट्यूब के उपयोग की जांच की और 1791 में अपने निष्कर्ष प्रकाशित किए।
1886 में, अमेरिकी क्लेमेंस हर्शेल ने जल प्रवाह को मापने के लिए एक व्यावहारिक उपकरण बनाने के लिए वेंचुरी ट्यूब सिद्धांत को लागू किया।
20वीं सदी की शुरुआत से मध्य तक, स्थापित माप सिद्धांत धीरे-धीरे परिपक्व हुए; शोधकर्ताओं ने अब अपनी सोच को मौजूदा तरीकों तक ही सीमित नहीं रखा बल्कि अन्वेषण के नए रास्ते तलाशने शुरू कर दिए।
1930 के दशक तक, ध्वनिक तरंगों का उपयोग करके तरल पदार्थ और गैसों के प्रवाह वेग को मापने के तरीके उभरने लगे। हालाँकि, द्वितीय विश्व युद्ध से पहले इस क्षेत्र में बहुत कम महत्वपूर्ण प्रगति हुई थी; 1955 तक ऐसा नहीं हुआ था कि मैक्ससन फ्लोमीटर {{3}जो ध्वनिक परिसंचरण विधि को नियोजित करता था {{4}विमानन ईंधन प्रवाह को मापने के उद्देश्य से पेश किया गया था।
1960 के दशक के बाद से, प्रवाह माप उपकरण अधिक सटीकता और लघुकरण की ओर विकसित होने लगा।
एकीकृत सर्किट प्रौद्योगिकी की तेजी से प्रगति के साथ, चरण {{0} लॉक्ड लूप तकनीक को शामिल करने वाले अल्ट्रासोनिक फ्लोमीटर को व्यापक रूप से अपनाया गया। इसके अलावा, माइक्रो कंप्यूटर के व्यापक अनुप्रयोग ने प्रवाह माप क्षमताओं में उल्लेखनीय वृद्धि की; उदाहरण के लिए, लेजर डॉपलर वेलोसीमीटर में माइक्रो कंप्यूटर के एकीकरण ने अधिक जटिल संकेतों के प्रसंस्करण को सक्षम किया।